Fib加工 特徴

Fib加工 特徴 . Focused ion beam, mems, ion milling, cad 1. Fibは加工面にダメージ層を形成する。シリコ ンへの断面加工の場合、加速電圧を10kvに落と しても、9nm程度のアモルファス層が形成され る。従っ…